Journal of Vacuum Science and Technology (JVST) B: Nanotechnology and Microelectronics
Volltext online seit: | Jg. 1, Heft 1, 1983 |
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Verlag: | American Vacuum Society (AVS) |
Erscheinungsweise: | Volltext, Online und Druckausgabe |
Kosten: | kostenpflichtig |
ISSN (Onlineausgabe): | 2166-2754 |
ISSN (Druckausgabe): | 0734-211X, 1071-1023, 2166-2746 |
Anmerkung: | Hervorgegangen aus: Journal of Vacuum Science and Technology (0022-5355) |
ZDB-Nummer: | 3117331-7 |